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净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的，但在满足工艺要求的条件下，也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高，对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出，但作为一般原理，结净层流罩求购，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如，在---集成电路生产的光刻---工艺中，玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。